1、項目基本情況

（1）項目名稱：半導體自動物料搬運系統(tǒng)項目

（2）項目建設單位：沈陽新松機器人自動化股份有限公司

（3）建設地點：遼寧省沈陽市

（4）項目性質(zhì)：新建

（5）主要產(chǎn)品：自動物料搬運系統(tǒng)、潔凈存儲系統(tǒng)、潔凈搬運機器人。項目建成后，達產(chǎn)年預計可實現(xiàn)年均營業(yè)收入約 119,000.00 萬元。

（6）項目總投資：65,572.09 萬元

（7）項目建設周期：2.5 年

（8）主要建設內(nèi)容：AMHS 裝備制造中心、研發(fā)設計大廈、廠區(qū)建設工程，廠區(qū)建設工程包括廠房改造、生產(chǎn)及輔助生產(chǎn)設施、動力設施、環(huán)保設施、安全設施、消防設施、管理設施等。

2、項目經(jīng)濟效益分析

經(jīng)過可行性論證及項目收益測算，本項目具有良好的經(jīng)濟效益。項目實施后，能夠為公司帶來穩(wěn)定的現(xiàn)金流入。

3、項目的必要性和可行性

（1）項目的必要性

AMHS系統(tǒng)國產(chǎn)化是半導體行業(yè)發(fā)展必然趨勢

在半導體加工廠中，AMHS 系統(tǒng)（自動化物料搬送系統(tǒng)）非常關鍵，是提高半導體制造產(chǎn)率、成品率以及設備利用率的保證。尤其是對于實現(xiàn)了生產(chǎn)設備與設備之間自動搬送的全自動化半導體工廠，一個高效的 AMHS 系統(tǒng)可以大幅縮短在制品的等待時間，從而縮短晶圓產(chǎn)品的生產(chǎn)周期。

在半導體芯片加工廠中已經(jīng)大量使用 AMHS 系統(tǒng)，AMHS 系統(tǒng)顯著提升了芯片加工廠的生產(chǎn)效率，并且使晶圓制造過程中的數(shù)據(jù)得以實時獲取，提升了整個制造過程的管控能力，隨著先進封裝產(chǎn)業(yè)的發(fā)展進步，AMHS 系統(tǒng)會進一步擴展到后道，成為整個半導

體產(chǎn)業(yè)的核心自動化傳輸系統(tǒng)，作為半導體芯片加工廠與先進封裝廠的大動脈，AMHS 系統(tǒng)將有更加廣闊的應用空間，AMHS 系統(tǒng)是現(xiàn)代化半導體工廠自動化系統(tǒng)中最大的單項投資項目，目前市場主要被日本大福、日本村田機械和美國AMAT 等國外公司壟斷。國內(nèi)半導體制造廠商進口一條 AMHS 系統(tǒng)價格極其昂貴，售后維護和服務費用高昂，給國內(nèi)半導體制造廠商增加了巨大的經(jīng)濟成本，實現(xiàn) AMHS 系統(tǒng)的國產(chǎn)化和自主可控是國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的必然趨勢。

AMHS 系統(tǒng)是半導體裝備新的業(yè)務增長點

公司自 2018 年 6 月成立半導體裝備事業(yè)部以來進一步加強公司在半導體AMHS 領域的技術和服務能力，完善在 AMHS 系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的布局。自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）是公司自主研發(fā)的面向半導體行業(yè)的高端裝備，從 2004 年開始布局研發(fā)，在 2010 年開始初步產(chǎn)業(yè)化，驗證了自主研發(fā)的可行性，在技術方面也得到了深厚沉淀。經(jīng)過十幾年的發(fā)展，公司的自動物料搬運系統(tǒng)（AMHS）已經(jīng)形成了體系完整、系列豐富、應用廣泛的獨立產(chǎn)品線。